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晶圓擴膜機 Wafer Expander

發布時間:2023-04-24人氣:517

全自動晶圓擴膜機產品說明 

    AWE系列是專門用于晶圓、LED等切割后的擴膜工序,配備PLC和觸摸屏控制系統,可均勻的擴張晶粒之間的間距。

產品特點: 

1.擴膜的高度和速度可直接在觸摸屏上設定;

2.工作盤具有加熱功能,有助于膜的延伸性;

3.調整工作盤上升的高度,即可調整晶粒之間的間距;

4.急停開關;當設備出現緊急情況下,按此按鈕;

5.電源開關:按下“O”關閉電源,按下“-”開啟電源;

6.復位鍵;開機后,必須先按復位鍵,使設備各軸處于原點位置;

7.啟動鍵:全自動模式的啟動鍵,與觸摸屏全自動模式下的啟動鍵作用一樣,圓周刀自動圓切

8.溫控器:用于設定臺盤加熱溫度;

9.觸摸顯示屏,用于操作機器的顯示屏

10.每小時產能: 60-90 片

11.精度:同心圓±2MM

12.上蓋板下翻后自動鎖緊


        

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