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全自動UV解膠機 Fully automatic UV Curing System

發布時間:2025-06-02人氣:41

產 品 說 明 

全自動UV解膠機(  Fully automatic UV Curing System)性能及特點:

AV-DUV300是一款全自動晶圓UV解膠機帶Frame自動進出料盒的UV解膠設備,該設備兼容12”以下帶Frame的wafer,且無需治具更換。


技術參數:

膜種類: UV膜

晶圓規格: 12寸以下晶圓 

照射光源: 光源UVLED燈珠,波長可選。

照射光照度:50-500MW/cm2

照度檢測:照度點檢探頭

裝卸方式: 自動進出料盒,標準配置為一個料盒

生產效率:≥90PCS/H(UV解膠時長10秒)

晶圓承載系統:固定位密閉腔體

產品定位:定位框架

貼標系統:解膠完成自動打標已解膠

運行系統:上下運動+前后運動

電力供應: 單相交流電220V,3KW

壓縮空氣壓力: 0.3~0.6Mpa

氮氣壓力:0.3~0.6Mpa

氮氣流量:10-50L/min

安全運行:工作中蓋子上鎖無法打開,報警燈蜂鳴。

WINDOWS+PLC程序:編輯多組解膠時長及光源照度大小

SECS/GEM:可選


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